CVD和PVD之间的差异。哪一个更好

CVD和PVD有什么区别?哪一个更好?

描述 CVD. PVD.
源材料状态 气体前身 坚硬的
过程 气相中的化学反应,流体动力学的重要性 蒸发和碰撞对固体目标的影响
温度 更高,Appx 600-1100˚c 较低,APPX以下450˚C
层涂层厚度 多层可能更厚,稀释 主要单层薄
耐磨,韧性 前高后低 少,更高
涂层压力状态 张力 压缩
用于 元素,化合物,合金困难 合金很容易
工艺,材料 每个过程都是具体的材料 一个过程,许多材料
视线 并不需要 需要
步骤覆盖 更好(50-100%),甚至可以填补空白 较差的
CVD和PVD之间的差异
图。CVD和PVD之间的差异

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