CVD和PVD有什么区别?哪一个更好?
描述 | CVD. | PVD. |
源材料状态 | 气体前身 | 坚硬的 |
过程 | 气相中的化学反应,流体动力学的重要性 | 蒸发和碰撞对固体目标的影响 |
温度 | 更高,Appx 600-1100˚c | 较低,APPX以下450˚C |
层涂层厚度 | 多层可能更厚,稀释 | 主要单层薄 |
耐磨,韧性 | 前高后低 | 少,更高 |
涂层压力状态 | 张力 | 压缩 |
用于 | 元素,化合物,合金困难 | 合金很容易 |
工艺,材料 | 每个过程都是具体的材料 | 一个过程,许多材料 |
视线 | 并不需要 | 需要 |
步骤覆盖 | 更好(50-100%),甚至可以填补空白 | 较差的 |